Materials, technology and process simulation

  • 12:00 GaN/AlN Axial Multi Quantum Well Nanowires for Optoelectronic Devices
    • Sònia Conesa-Boj (Universitat de Barcelona), Jordi Arbiol (Universitat de Barcelona), Francesca Peiró (Universitat de Barcelona), Joan R. Morante (Universitat de Barcelona), Florian Furtmayr (WSI, Technische Universität München), C. Stark (WSI, Technische Universität München), S. Schäfer (WSI, Technische Universität München), M. Stutzmann (WSI, Technische Universität München), M. Eickhoff (WSI, Technische Universität München).
  • 12:20 High Quality Ti-Implanted Si Layers Above Solid Solubility Limit
    • Javier Olea (Fac. de CC. Fisicas. Univ. Complu. de Madrid), David Pastor (Fac. de CC. Fisicas. Univ. Complu. de Madrid), Maria Toledano-Luque (Fac. de CC. Fisicas. Univ. Complu. de Madrid), Enrique San Andres (Fac. de CC. Fisicas. Univ. Complu. de Madrid), Ignacio Martil (Fac. de CC. Fisicas. Univ. Complu. de Madrid), German Gonzalez-Diaz (Universidad Complutense de Madrid).
  • 12:40 Improved Integrated Capacitive Elements based on Porous Silicon
    • Javier Gracia (CEIT), Ana Sancho (CEIT).
  • 13:00 Study of Atomic Layer Deposited Zirconium Oxide Thin Films by Using Mono-Cyclopentadienyl Based Precursors
    • Helena Castán (Universidad de Valladolid), Salvador Dueñas (Universidad de Valladolid), Héctor García (Universidad de Valladolid), Alfonso Gómez (Universidad de Valladolid), Luis Bailón (Universidad de Valladolid), K. Kukli (University of Helsinki), J. Niinistö (University of Helsinki), M. Ritala (University of Helsinki), M. Leskelä (University of Helsinki).
  • 13:20 Growth of SiNx on Si by ECR plasma nitridation
    • Alvaro del Prado (Universidad Complutense de Madrid), María Toledano (Universidad Complutense de Madrid), Enrique San Andrés (Universidad Complutense de Madrid), Pedro Feijoo (Universidad Complutense de Madrid), María Luisa Lucía (Universidad Complutense de Madrid).
  • 13:40 Carrier mobility degradation in highly B-doped junctions
    • Maria Aboy (University of Valladolid), Lourdes Pelaz (University of Valladolid), Pedro Lopez (University of Valladolid), Elena Bruno (MATIS CNR-INFM of Catania), Salvo Mirabella (MATIS CNR-INFM of Catania).